中国体育彩票26选5:RF微谐振器研究进展

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广东26选5最新开奖视频 www.py6z.cn RF微谐振器研究进展

作者:杨亮郑升灵

来源:《数字技术与应用》2018年第06期

摘要:基于MEMS工艺的AlN压电轮廓模式体波微谐振技术,结构和工艺类似FBAR,但具有频率范围更宽、更高的Q值、体积更小的特点。本文就对该微谐振器国内外发展现

状、原理及结构特点、应用前景进行了综合性阐述,并对技术发展遇到的挑战性进行了分析。

关键词:压电;体声波;轮廓模式;MEMS微谐振器

中图分类号:TP211 文献标识码:A 文章编号:1007-9416(2018)06-0050-02

卫星、导航、蜂窝电话等无线通信需求的快速发展,以及近年来个人通信技术的高速发展,不断促使射频前端等越来越多的??榍饔谛⌒突?、集成化的设计。目前,RFIC技术已可将低噪放、混频、锁相、功放等通过CMOS工艺集成在芯片内,而滤波器、双工器等仍然以分立元件形式存在于芯片之外,制约着集成单片化发展。

新型的压电轮廓模式体声波微谐振(Piezoelectric Contour-Mode Resonator,简称:PCMR)技术受到了广泛关注,它采用薄膜和微纳MEMS加工工艺完成,具有其它谐振器无

可比拟的优点,工作频率范围更宽、体积更小、更高的Q值并可与其它IC器件集成等。

本文就对该微谐振器国内外发展现状、原理及结构特点、应用前景进行了综合性阐述,并对技术发展遇到的挑战性进行了分析。

1 国内外现状

随着压电薄膜材料制备手段的日趋完善、微纳MEMS工艺技术的成熟,以及对压电声波的不断深入研究,各种结构和模式的声学压电微谐振器层出不穷,典型代表为压电轮廓模式PCMR谐振技术。

PCMR微谐振器于2005年左右开始进行的研究。但PCMR微谐振具体应用的资料较少,在Avago、Infineon、EPCOS、Fujitsu、Philips等著名公司也未见有商业化产品,在国际上应

处于起步研究阶段。

国内在微声表面波SAW谐振、滤波器件等已有大量报道和商业化产品,在微声体波FBAR研究上著名高校和相关机构如中科院声学所、浙江大学等已有报道,而微声体波PCMR 研究目前尚未见相关的学术研究报道及商业化产品,国内尚属空白。

2 优势及应用前景

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